CLEAN ROOM
CLEAN ROOM
CLEAN ROOM SYSTEM
CLEAN ROOM 이라 함은 실내의 작업환경, 주거환경으로서, 오염방지를 목적으로 청정도를 얻고, 유지관리 하는 것을 말하며, 기술의 발달과 함께 산업 분야의 연구개발과생산과정에서 중대한 방해를 초래하는 공기중의 부유입자를 제거하기 위하여 생긴 것이 크린룸(Clean Room, 청정실)입니다.
CLEAN ROOM에서는 청정도가 가장 중요하며 근래에 와서는 산업기술의 고도
발전으로 인하여 높은 청정도가 전산업 분야에 요구된다. 실내 공기중의 먼지,
미립자를 최소로 유지시키고, 실내의 압력 습도,온도,기류의 분포와 속도 등을
일정범위내로 제어하기 위해 만들어진 특수한 방을 CLEAN ROOM이라 한다.
■ 크린룸의 5원칙
크린룸을 효율적으로 사용하고 유지하기 위해서는 준수되어야 할 사항입니다.
[CLEAN ROOM 5원칙]
| 기본원칙 | 고려사항 | 조치사항 |
|---|---|---|
| 미립자의 침입 방지 | 실내공기 압력 | 실간 차압조정, 양압유지, 도입외기량 조정 |
| 건축적인 동선 계획 | 작업인원, 물류, 원료의 동선 구분 | |
| 청정구역과 오염구역의 구분 | ||
| Air Lock, Air Shower 설치 | ||
| 미립자의 발생 방지 | 인원관리 | 필요인원 출입 통제, 작업원 동선 최소화 |
| 인원의 복장관리 | 무균의, 청정장갑 착용, 인체호흡 기류차단 | |
| 건축 내장제, 재료 | 표면 가공처리, 무발진 재료사용 | |
| 미립자의 누적 방지 | 실내기류 | 취출구 위치조정, 충류풍속 및 환기회수 조정 |
| 건축 내장제 | 무정전 내장제 사용, Corner Mould 사용 | |
| 실내청소 | 청소기준에 따른 지속 실시 | |
| 발생된 미립자 제거 | Clean Room 방식 | 시설용도의 정확한 파악 |
| 실내기류 | 기류분포예상 및 환기구 위치 조정 발진 | |
| 환기회수 | 환기 회수를 높게 유지 | |
| 필요한 온도, 습도 및 실내압 유지 | 항온항습 System | 항온항습기 칠러, 작업인원 및 생산설비의 발열량 고려 |
CLEAN ROOM
■ 대기중 입자의 크기
대기중에는 눈으로 확인할 수 있는 가는먼지, 기름, 연기 및 금속분말 등에서부터 육안으로는 확인되지 않는 미립자등 각종먼지가 부유하고 있습니다. 그입자들의 크기는 0.01㎛ 에서 100㎛정도까지 대기중에 1000000정도로 광범위하게 포함되어 있습니다.
사람의 육안으로 확인할 수 있는 입자의 크기는 10㎛ 이상이며 이러한 먼지는 크린룸에서 제거하기에는 너무 크기 때문에 공조기에서 제거되어야 합니다.
크린룸에서 제어되는 입자의 크기는 1㎛이하의 Sub Micron 입자를 대상으로 하고 있습니다.
FED(미국연방규격)에서 규정하고 있는 청정도 대상입자는 0.5㎛을 표준으로 규정하고 있습니다. 아래의 그림에서는 대기중 입자의 크기를 나타내고 있습니다.
CLEAN ROOM
■ CLEAN ROOM의 규격
크린룸에 관한 규격은 국내의 규격이 있지만, 대부분 미국과 원본의 규격을 인융한 것으로 통상적으로 미국의 규격을 사공하고 있다.
산업용 크린룸은 미연방규격인 FEDRAL STANDARD 209E 규격을 사용하고, 바이오 크린름은 미항공우주국(NASA), NHB 5340.2 규격을 사용한다.(도표 생략)
ISO(국제표준화기구)
크린룸의 중요성이 국제적으로 널리 인정되어 크린룸의 국제 표준화 작업이 ISO/TC 209를 중심으로 1993년부터 일부 내용이 국제규격으로 확정되고 있다.
미국
미국은 크린룸 규격을 가장 많이 보유하고 있는 나라로 국가기관(NASA, DOE, FDA, NRC, GSA, NIH, ARMY, NAVY, AIR FORCE), 기술자 협회(IEST, ASME, SAE, ASHRAEX 규격작성협회(ASTM, NSF, UL)에서 규격을 만들어 사용하고 있다. 대표적인 규격으로는 GSA(GENERAL SERVICEADMINISTRATION)에서 만든 공기 청정도 등급에 대한 FEDRAL STANDARD 2D9와 IEST(INSTITUTE OF ENVIRONMENTAL SCIENCES ANDTECHNOLOGY)에서 만든 크린룸 성능평가 에 대한 IEST-RP-CC006.2가 있다.
미국연방규격인 FEDERAL STANDARD 209는 미국뿐만 아니라 세계적으로 널리 사용되고 있는 대표적인 크린름 규격이다. 미국 4TOMICENERGY COMMISSION의 한 공공기관인 SANDIA CORPORATION에 의해 작성되어 1963년 FED-STD-209로 제정되었다. 그후 5자례 개정(1966년-209A, 1973년-209B, 1987년-209C, 1988년-209D, 1992년-209E)되어 현재 FED-STD-209E가 사용되고 있다.
미국의 IEST에서는 크린룸의 다양한 분야에 관한 20여개의 규격을 보유하고 있다.
일본
일본에서는 공업규격인 JIS가 있고 크린룸 관련 단체로 일본공기청정협회(JACA)가 있다. JIS에는 크린룸 및 오염제어에 관한 규격이 30여개에 이르고, 공기 청정도 등급에 대한 규격으로 JIS B 9920(1988년)이 있다. JACA에서 만든 대표적인 규격은 크린룸 성능평가에 대한 JACA NO.24(1989년)와 크린룸 운영관리에 대한 JACA NO.14C(1992년》가 있다. JACA에서 보유하고 있는 크린룸 규격은 16여개에 이른다.
한국
국내에서는 크린룸 규격의 중요성을 인식하여 국재적인 주세에 부융하고 등시에 국내 설정에 맞는 크린룸 시스템의 설계, 시험, 즉정 및 시공제작, 운영관리 등 중합적인 크린룸 규격을 제정하기 위하여 과학기술부의 특정 연구개 탈사업의 원환으로 한국과학기술연구원과 한국공기청정 연구조합이 공동으로 "크린룸 기술 기준에 관한 연구"를 1988년부터 3년 동안 수행하였다. 이러한 연구수행 결과로 1991 년 11 월에 "청정실 기술 기준(최종시안)”이 만들어졌으며. 그 후 한국공기청정연구조합에서는 기술기준 제정위원회를 신설하여 "청정실 기술 기준(최종시안)"의 내용과 골격을 수정, 보완하여 1994년 9월 공업진흥청으로부터 단체 표준 규격으로 승인을 받았다.
국내에서 만든 "청정실 기술 기준(KACRA-94-01-001A)■은 4개의 분야로 구성되어 있다.
작업중인 국제 규격(안)과 가장 크 차이점은 생물성 입자 오염에 대한 국내 규격이 없다는 것이다. KACRA-94-01-001A의 PART 1 에 공기 청정도등급에 대하여 규정되어 있지만 이와 볕도로 한국산업규격(KS B-6741-1995)에 공기 청정도 등급에 대하여 규정되어 있다.
■ CLEAN ROOM 설계
CLEAN ROOM
■ ICR(Industrial Clean Room)
고품질 확보는 초정정 공간의 조성에서 비롯됩니다.
ICR 이 가장 많이 적용되는 분야는 IC，VLSI로 대표되는 반도제산업이며 죄근에는 신소재, 화인 케미컬 등 적용분야가 점자 확대되고 있습니다.
ICR의 특징은 크린름설비 투자비가 제품의 품질, 수율향상으로 이어진다는 점입니다.
이것은 크린룸 투자가 그만큼 실효를 거두는 것으로 어느 제품에는 어느 정도의 청정도가 필요한지 또한 경험 데이터를 통해 알 수 있으므로 크린룸 설치시예는 제조공정 중 가장 중요한 부분에 최고 청정도를 적용하고 다른 공정은 가능한한 경제적인 크린룸을 계획하는것이 중요합니다.
ICR를 필요로하는 하는제품，공정과 가장 많이 적용되고 있는 공기청정도를 예시 한 것입니다.
■ Industrial Clean Room의 적용분야
■ BCR (Bio Logical Clean Room)
의약품, 식품산업 등 미대산업의 발전을 뒷받짐합니다.
미생물을 제어대상으로 하는 BCR(Biological Clean Room)은 의약품제조 공정의GMP(Good Manufacturing Practics : 우수의약품의제조관리기준)와 병원 수술실에서 무균화의 필요성에 의해 발전해 왔습니다.또한 식품, 화장품 산업에서도 점차 GMP에 준하는 크린룸이적용되고 있으며 이미 레토르트 식품, 저장기간이 긴 식품(간장,된장,햄,소시지등)의 제조공정과 주류와 음료중전 공정 등에서는 크린룸이적용되고 있습니다. 한편 의약품제조 개발에 필수적인 동물실험 시설에는 GLP(Good Laboratory Practice Regulation : 전임상 시험시험 동물시설규범）)규격이 적용되며 이는 크린룸 기술과 밀접한 관계를가지고 있습니다. 또한 최근에는 유전자 변환등의 비이오테크놀로지의 개발과 함께 실험자에 대한 감염방지나 오염원의 실험실 외부로의 유줄을 방지하는대책(Bio Hazard)의 일환으로 고도로 제어된 크린룸을 필요로 하고 있어 바이오로지컬 크린룸은 첨단기술의 발전과 함께 더욱 확대될 것으로 예상됩 니다.
■ Bio Logicall Clean Room의 적용분야
CLEAN ROOM
CLEAN ROOM
CLEAN ROOM SYSTEM
CLEAN ROOM 이라 함은 실내의 작업환경, 주거환경으로서, 오염방지를 목적으로 청정도를 얻고, 유지관리 하는 것을 말하며, 기술의 발달과 함께 산업 분야의 연구개발과생산과정에서 중대한 방해를 초래하는 공기중의 부유입자를 제거하기 위하여 생긴 것이 크린룸(Clean Room, 청정실)입니다.
CLEAN ROOM에서는 청정도가 가장 중요하며 근래에 와서는 산업기술의 고도
발전으로 인하여 높은 청정도가 전산업 분야에 요구된다. 실내 공기중의 먼지,
미립자를 최소로 유지시키고, 실내의 압력 습도,온도,기류의 분포와 속도 등을
일정범위내로 제어하기 위해 만들어진 특수한 방을 CLEAN ROOM이라 한다.
CLEAN ROOM
■ 대기중 입자의 크기
대기중에는 눈으로 확인할 수 있는 가는먼지, 기름, 연기 및 금속분말 등에서부터 육안으로는 확인되지 않는 미립자등 각종먼지가 부유하고 있습니다. 그입자들의 크기는 0.01㎛ 에서 100㎛정도까지 대기중에 1000000정도로 광범위하게 포함되어 있습니다.
사람의 육안으로 확인할 수 있는 입자의 크기는 10㎛ 이상이며 이러한 먼지는 크린룸에서 제거하기에는 너무 크기 때문에 공조기에서 제거되어야 합니다.
크린룸에서 제어되는 입자의 크기는 1㎛이하의 Sub Micron 입자를 대상으로 하고 있습니다.
FED(미국연방규격)에서 규정하고 있는 청정도 대상입자는 0.5㎛을 표준으로 규정하고 있습니다. 아래의 그림에서는 대기중 입자의 크기를 나타내고 있습니다.
CLEAN ROOM
■ CLEAN ROOM의 규격
크린룸에 관한 규격은 국내의 규격이 있지만, 대부분 미국과 원본의 규격을 인융한 것으로 통상적으로 미국의 규격을 사공하고 있다.
산업용 크린룸은 미연방규격인 FEDRAL STANDARD 209E 규격을 사용하고, 바이오 크린름은 미항공우주국(NASA), NHB 5340.2 규격을 사용한다.(도표 생략)
ISO(국제표준화기구)
크린룸의 중요성이 국제적으로 널리 인정되어 크린룸의 국제 표준화 작업이 ISO/TC 209를 중심으로 1993년부터 일부 내용이 국제규격으로 확정되고 있다.
미국
미국은 크린룸 규격을 가장 많이 보유하고 있는 나라로 국가기관(NASA, DOE, FDA, NRC, GSA, NIH, ARMY, NAVY, AIR FORCE), 기술자협회(IEST, ASME, SAE, ASHRAEX 규격작성협회(ASTM, NSF, UL)에서 규격을 만들어 사용하고 있다.대표적인 규격으로는 GSA(GENERAL SERVICEADMINISTRATION)에서 만든 공기 청정도 등급에 대한 FEDRAL STANDARD 2D9와 IEST(INSTITUTE OF ENVIRONMENTAL SCIENCES ANDTECHNOLOGY)에서 만든 크린룸 성능평가 에 대한 IEST-RP-CC006.2가 있다.
미국연방규격인 FEDERAL STANDARD 209는 미국뿐만 아니라 세계적으로 널리 사용되고 있는 대표적인 크린름 규격이다. 미국 4TOMICENERGY COMMISSION의 한 공공기관인 SANDIA CORPORATION에 의해 작성되어 1963년 FED-STD-209로 제정되었다. 그후 5자례 개정(1966년-209A, 1973년-209B, 1987년-209C, 1988년-209D, 1992년-209E)되어 현재 FED-STD-209E가 사용되고 있다.
미국의 IEST에서는 크린룸의 다양한 분야에 관한 20여개의 규격을 보유하고 있다.
일본
일본에서는 공업규격인 JIS가 있고 크린룸 관련 단체로 일본공기청정협회(JACA)가 있다. JIS에는 크린룸 및 오염제어에 관한 규격이 30여개에 이르고, 공기 청정도 등급에 대한 규격으로 JIS B 9920(1988년)이 있다. JACA에서 만든 대표적인 규격은 크린룸 성능평가에 대한 JACA NO.24(1989년)와 크린룸 운영관리에 대한 JACA NO.14C(1992년》가 있다. JACA에서 보유하고 있는 크린룸 규격은 16여개에 이른다.
한국
국내에서는 크린룸 규격의 중요성을 인식하여 국재적인 주세에 부융하고 등시에 국내 설정에 맞는 크린룸 시스템의 설계, 시험, 즉정 및 시공제작, 운영관리 등 중합적인 크린룸 규격을 제정하기 위하여 과학기술부의 특정 연구개 탈사업의 원환으로 한국과학기술연구원과 한국공기청정 연구조합이 공동으로 "크린룸 기술 기준에 관한 연구"를 1988년부터 3년 동안 수행하였다. 이러한 연구수행 결과로 1991 년 11 월에 "청정실 기술 기준(최종시안)”이 만들어졌으며. 그 후 한국공기청정연구조합에서는 기술기준 제정위원회를 신설하여 "청정실 기술 기준(최종시안)"의 내용과 골격을 수정, 보완하여 1994년 9월 공업진흥청으로부터 단체 표준 규격으로 승인을 받았다.
국내에서 만든 "청정실 기술 기준(KACRA-94-01-001A)■은 4개의 분야로 구성되어 있다.
작업중인 국제 규격(안)과 가장 크 차이점은 생물성 입자 오염에 대한 국내 규격이 없다는 것이다. KACRA-94-01-001A의 PART 1 에 공기 청정도등급에 대하여 규정되어 있지만 이와 볕도로 한국산업규격(KS B-6741-1995)에 공기 청정도 등급에 대하여 규정되어 있다.
■ CLEAN ROOM 설계
CLEAN ROOM
■ ICR(Industrial Clean Room)
고품질 확보는 초정정 공간의 조성에서 비롯됩니다.
ICR 이 가장 많이 적용되는 분야는 IC，VLSI로 대표되는 반도제산업이며 죄근에는 신소재, 화인 케미컬 등 적용분야가 점자 확대되고 있습니다.
ICR의 특징은 크린름설비 투자비가 제품의 품질, 수율향상으로 이어진다는 점입니다.
이것은 크린룸 투자가 그만큼 실효를 거두는 것으로 어느 제품에는 어느 정도의 청정도가 필요한지 또한 경험 데이터를 통해 알 수 있으므로 크린룸 설치시예는 제조공정 중 가장 중요한 부분에 최고 청정도를 적용하고 다른 공정은 가능한한 경제적인 크린룸을 계획하는것이 중요합니다.
ICR를 필요로하는 하는제품，공정과 가장 많이 적용되고 있는 공기청정도를 예시 한 것입니다.
■ Industrial Clean Room의 적용분야
■ BCR (Bio Logical Clean Room)
의약품, 식품산업 등 미대산업의 발전을 뒷받짐합니다.
미생물을 제어대상으로 하는 BCR(Biological Clean Room)은 의약품제조 공정의GMP(Good Manufacturing Practics : 우수의약품의제조관리기준)와 병원 수술실에서 무균화의 필요성에 의해 발전해 왔습니다.또한 식품, 화장품 산업에서도 점차 GMP에 준하는 크린룸이적용되고 있으며 이미 레토르트 식품, 저장기간이 긴 식품(간장,된장,햄,소시지등)의 제조공정과 주류와 음료중전 공정 등에서는 크린룸이적용되고 있습니다. 한편 의약품제조 개발에 필수적인 동물실험 시설에는 GLP(Good Laboratory Practice Regulation : 전임상 시험시험 동물시설규범）)규격이 적용되며 이는 크린룸 기술과 밀접한 관계를가지고 있습니다. 또한 최근에는 유전자 변환등의 비이오테크놀로지의 개발과 함께 실험자에 대한 감염방지나 오염원의 실험실 외부로의 유줄을 방지하는대책(Bio Hazard)의 일환으로 고도로 제어된 크린룸을 필요로 하고 있어 바이오로지컬 크린룸은 첨단기술의 발전과 함께 더욱 확대될 것으로 예상됩 니다.
■ Bio Logicall Clean Room의 적용분야
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